[实用新型]一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置有效
| 申请号： | 201220391785.6 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN202755101U | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 陆惠田 | 申请（专利权）人： | 浙江鸿禧光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314206 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，具体包括：源瓶是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成；源瓶底部由一个凹槽和两个具有一定倾斜角度的平面组成；凹槽的位置在进气管的正下方，凹槽的形状为圆柱、长方体或正方体；与凹槽顶部相连接的两个倾斜面与源瓶底部成一定的角度，且两者之间为实心填充；进气管和测温管在同一直线上。本实用新型的有益效果是有利于三氯氧磷集中利用、明显减少浪费，有利于降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 盛载三氯氧磷 瓶装 | ||
【主权项】：
一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，用于晶硅太阳能电池制造过程中扩散制结工序，其特征在于所述的源瓶装置是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成。
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