[实用新型]多晶铸锭炉气路分配装置有效
| 申请号： | 201220375632.2 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN202786503U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘添华;张洪义;孔令歆;王永根 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶铸锭炉气路分配装置，属于多晶铸锭技术领域。其包括一端与进气管（1）连接、另一端与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的进气套管（2），其特征是：所述进气套管（2）与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的一端伸入所述坩埚的内部，该伸入端的下端沿其周向均均连接有至少两根与其内部相通的导气管（4），每根所述的导气管（4）上均设有一排沿其轴向排列的出气孔（8），所有的出气孔（8）的轴线均位于同一水平面内且所有的出气孔（8）的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布。本实用新型可使得进入坩埚内的气体均匀地分布于整个空间中，达到了气体定向流动，均匀分布的效果，有利于提升多晶硅的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 炉气路 分配 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶铸锭炉气路分配装置，包括一端与进气管（1）连接、另一端与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的进气套管（2），其特征是：所述进气套管（2）与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的一端伸入所述坩埚的内部，该伸入端的下端沿其周向均匀连接有至少两根与其内部相通的导气管（4），每根所述的导气管（4）上均设有一排沿其轴向排列的出气孔（8），所有的出气孔（8）的轴线均位于同一水平面内且所有的出气孔（8）的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布。
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