[实用新型]真空工具镀膜的阴极电弧装置有效
| 申请号： | 201220359276.5 | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN202755049U | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 王叔晖;刘竹杨 | 申请（专利权）人： | 上海法德机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强 |
| 地址： | 201616 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空工具镀膜的阴极电弧装置，其包括靶材等元件，靶材与冷水座连接，辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上，第一密封O型圈位于法兰板的上方，绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间，螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上，冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上，接线座的一端位于冷水座上，螺母与第二内六角螺钉连接，水嘴接头位于电磁线圈的一侧，电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定，电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方，防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定，引弧极压紧在气动引弧机构上，引弧极位于靶材的下方。本实用新型结构简单，且保证靶材的均匀刻蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 工具 镀膜 阴极 电弧 装置 | ||
【主权项】：
一种真空工具镀膜的阴极电弧装置，其特征在于，其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极，靶材与冷水座连接，辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上，第一密封O型圈位于法兰板的上方，绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间，螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上，冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上，接线座的一端位于冷水座上，螺母与第二内六角螺钉连接，水嘴接头位于电磁线圈的一侧，电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定，电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方，防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定，引弧极压紧在气动引弧机构上，引弧极位于靶材的下方。
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