[实用新型]半自动研磨装置有效
申请号: | 201220352893.2 | 申请日: | 2012-07-20 |
公开(公告)号: | CN202726711U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 马香柏 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
主分类号: | B24B37/005 | 分类号: | B24B37/005;B24B37/11;B24B37/00 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201206 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半自动研磨装置,包括:研磨机台、研磨头、升降杆及控制装置,其中研磨头安装在研磨机台上方,控制装置通过控制升降杆的升降,控制施加在研磨头上的压力。本实用新型能使样品(芯片)被固定,不易飞走;样品均匀性会比较好;不会出现划伤手的情况;可实现多样品同时研磨。 | ||
搜索关键词: | 半自动 研磨 装置 | ||
【主权项】:
一种半自动研磨装置,其特征在于,包括:研磨机台、研磨头、升降杆及控制装置,其中所述研磨头安装在所述研磨机台上方,所述升降杆设置在所述研磨头上方,所述控制装置通过所述升降杆与所述研磨头相连接。
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