[实用新型]保护终点检知探头的石英视窗有效
| 申请号： | 201220336287.1 | 申请日： | 2012-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN202736895U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 汤明浩 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种保护终点检知探头的石英视窗，所述石英视窗位于发生干法刻蚀的腔体外的腔壁中，所述石英视窗靠近腔体的一端位于腔壁中并与腔体之间留有一段间隙，石英视窗远离腔体的一侧具有一凹槽，终点检知探头的前端位于凹槽中。本实用新型的石英视窗安装位置不变，将终点检知探头和石英视窗的接触由硬性接触改变成悬空不接触的连接状态，不但可以保证终点检知探头的检知效果，还避免了终点检知探头的磨损；同时由于石英视窗缩短了一定的尺寸，使其避免暴露在等离子体氛围中，起到保护终点检知探头和延长自身使用寿命的双重效果。 | ||
| 搜索关键词： | 保护 终点 探头 石英 视窗 | ||
【主权项】：
一种保护终点检知探头的石英视窗，所述石英视窗（3）位于发生干法刻蚀的腔体（1）外的腔壁（2）中，其特征在于：所述石英视窗（3）靠近腔体（1）的一端位于腔壁（2）中并与腔体（1）之间留有一段间隙，石英视窗（3）远离腔体（1）的一侧具有一凹槽（6），终点检知探头（4）的前端悬空地位于凹槽（6）中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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