[实用新型]薄膜转写装置

摘要

一种薄膜转写装置，包括一机架、一上腔体、一下腔体、一载台、一冷却模块及一压框。其中该上腔体及该下腔体对称设于该机架的内部，该压框设于其间，该载台及该冷却模块设于该下腔体内，且该上腔体设有一加热模块及一第一压力调节模块，该下腔体设有一第二压力调节模块；操作时，透过该压框夹持一转写膜于该下腔体的周缘，透过该加热模块加热及调整该上腔体与该下腔体内的压力后，使该转写膜受到高温及上、下压力的揉压，而将该图案层平均地转写至该壳体的表面，获得更佳的转写品质。

主权项

一种薄膜转写装置，设于一机架上，供以将一转写膜上的一图案层转写至一壳体的表面，其特征在于，包括：一上腔体，设于该机架的上方位置，该上腔体设有一加热模块及一第一压力调节模块，该加热模块设于该上腔体的内部以加热该转写膜，该第一压力调节模块控制该上腔体内部产生正压或负压及调整其压力值；一下腔体，设于该机架相对于该上腔体的下方位置，该下腔体设有一第二压力调节模块，该第二压力调节模块控制该下腔体内部产生正压或负压及调整其压力值；一载台，设于该下腔体的内部以承载该壳体，该载台能于该下腔体内部往复升降；一冷却模块，设于该载台上，供以冷却该载台及该壳体的温度；及一压框，设于该上腔体及该下腔体之间，且能相对该下腔体进行移动，供以夹持该转写膜的周缘于该下腔体的周缘；运转时，该上腔体盖合于该下腔体上而形成封闭的一空间，并由该转写膜将该空间分隔为二，且分别由该第一压力调节模块及该第二压力调节模块调整二者间的压力，使该转写膜受到高温及压力的揉压，而将该图案层平均地转写至该壳体的表面。