[实用新型]一种均流挡片

摘要

本实用新型公开一种均流挡片，包括两片石英片，石英片之间用石英柱连接，石英片相互平行且相互之间向某一方向错开一定的角度，靠近石英舟外侧的石英片上开有排列规则的匀流气孔且设置有将该挡片挂附在石英舟一侧的石英挂钩；本实用新型和现有匀流板相比，其放置于石英舟两端内部，具有耐用性；此匀流挡片设有石英挂钩，具有牢固性；此匀流挡片取代硅片，降低了成本；放置在石英舟炉尾处的石英片可以阻挡磷掺杂源气流直接对硅片的吹扫，造成炉尾处的方阻过低；有匀流气孔的石英片可以促进磷源气氛在硅片与硅片之间的均匀分布,从而提高方块电阻的均匀性；此匀流挡片的面积较大，使工艺气体尽可能通过带有匀流小孔的挡片，使炉管内气体均匀。

主权项

一种均流挡片，其特征在于，包括两片石英片，所述石英片之间用石英柱连接，所述石英片相互平行且相互之间交错设置，靠近石英舟外侧的所述石英片上开有排列规则的匀流气孔且设置有将该挡片挂附在石英舟一侧的石英挂钩。