[实用新型]一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室有效
| 申请号： | 201220314143.6 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN203118901U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，包括上喷淋装置及下冷却板，该上喷淋装置有一惰性气体导入口，导入主管后会流向气体分配管，该分配管均匀的分布在衬底上方，且分配管上分布等距的小孔，惰性气体可透过小孔均匀地流向衬底；下冷却板设置于衬底下方，该下冷却板设置面积大于衬底，下冷却板通入冷却媒介，使整个冷却板保持一定温度且远低于衬底温度，由于辐射热由高温流向低温的特性，可使衬底温度向下冷却板辐射，使衬底降温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 异质结 太阳能电池 溅镀线 冷却 | ||
【主权项】：
一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，包括上喷淋装置及下冷却板，该上喷淋装置有一惰性气体导入口，导入主管后会流向气体分配管，该分配管均匀的分布在衬底上方，且分配管上分布等距的小孔，惰性气体可透过小孔均匀地流向衬底。
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