[实用新型]一种微型超粗化微蚀前处理机有效

专利信息
申请号: 201220303681.5 申请日: 2012-06-27
公开(公告)号: CN202671660U 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 周婵华;杨明雄;徐晶;陈东淼;徐斌 申请(专利权)人: 长兴(广州)光电材料有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 代理人: 黄为
地址: 510530 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种微型超粗化微蚀前处理机,包括电路控制箱和处理系统,电路控制箱与处理系统通过控制线连接,处理系统包括化学泵、基座、连接管、压力表、水槽和主架柜,化学泵固定于基座,压力表设于水槽外侧连接管,水槽设于主架柜上部,电路控制箱与化学泵通过控制线连接,连接管包括输入管、回流管、输出管、三通管和分流管,输入管与化学泵和分流管连接,分流管连接水槽,回流管与化学泵连接,回流管与输出管通过三通管连接至水槽底部排液口,水槽内相对的两侧设有竖直夹板装置,另外相对两侧分别设有至少一条喷管与分流管连接,降低设备投资成本,可实现铜面粗糙度,有效改善铜面与界面结合力,占地面积小,投资低,维护和保养成本低。
搜索关键词: 一种 微型 超粗化微蚀前 处理机
【主权项】:
一种微型超粗化微蚀前处理机,包括电路控制箱和处理系统,所述电路控制箱与所述处理系统通过控制线连接,其特征在于,所述处理系统包括化学泵、基座、连接管、压力表、水槽和主架柜,所述化学泵固定于所述基座,所述压力表设于所述水槽外侧连接管上,所述水槽设于所述主架柜上部,所述电路控制箱与所述化学泵通过控制线连接;所述连接管包括输入管、回流管、输出管、三通管和分流管,所述输入管与所述化学泵和所述分流管连接,所述分流管连接所述水槽,所述回流管与所述化学泵连接,所述回流管与所述输出管通过三通管连接至水槽底部排液口;所述水槽为长方形槽,所述水槽内相对的两侧设有竖直夹板装置,另外相对两侧分别设有至少一条喷管,与所述分流管连接。
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