[实用新型]一种机械手

摘要

本实用新型提供了一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联扳；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。本实用新型提供的一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，保证了操作人员的安全，减轻操作员工作强度，提高成品率，提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。

主权项

一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，其特征在于：所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联板；所述上横联板与下横联板的一端水平固定于竖直拖板联接板的上下端，形成上下两个直角，直角支板固定于直角位置，拖板联接板上还固定有磁偶式无杆气缸；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述同步带轮的周围一圈固定有同步带，且固定于涨紧轮座上，轴承座上嵌套有主轴，主轴上又固定有同步轮带，同步带轮侧连接有三相交流低速同步电机，轴承顶端固定有传感器转盘，轴承侧竖直固定有传感器安装板，传感器安装板上固定有传感器，传感器与传感器转盘之间固定有挡光片。所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。