[实用新型]一种应用于单晶炉中的复合型热屏装置有效
申请号: | 201220287366.8 | 申请日: | 2012-06-19 |
公开(公告)号: | CN202786496U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 刘锋;韩焕鹏;李丹;王世援;周传越;莫宇;耿博云;吕菲 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 田俊峰 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种应用在单晶炉中的复合型热屏装置,包括导流筒支架、第一导流筒、第二导流筒和第三导流筒,其中第一、第二和第三导流筒导流筒均为圆台中空结构,分为内外两层,两层之间填充石墨碳毡;并且第一导流筒的内外两层均为石墨材料,第二导流筒和第三导流筒的外层为石墨材料,内层为钼材料,第一、第二和第三导流筒导流筒通过安装边沿和卡滞边沿依次卡合。该装置安装方便快捷、操作简便,由于采用了石墨材料和钼片的复合型热屏,使其相较于传统的单一石墨材料热屏,在保持同样体积的同时,具有更好的隔热和保温特性,能够改善单晶拉制过程中的扭曲问题,降低晶体拉制功率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 单晶炉 中的 复合型 装置 | ||
【主权项】:
一种应用于单晶炉中的复合型热屏装置,其特征在于,所述热屏装置包括:导流筒支架,设置在单晶炉的保温罩上方;第一导流筒,形状为圆台中空结构,分为内外两层,均由石墨材料制作,两层之间留有空隙,填充石墨碳毡,所述第一导流筒的下底面向外延伸有第一安装边沿,上底面向内延伸有第一卡滞边沿;所述第一安装边沿与所述导流筒支架配合;第二导流筒,形状为圆台中空结构,分为内外两层,外层为石墨材料制作,内层为钼片,两层之间留有空隙,填充石墨碳毡,所述第二导流筒的下底面向外延伸有第二安装边沿,上底面向内延伸有第二卡滞边沿;所述第二安装边沿与所述第一卡滞边沿配合;第三导流筒,形状为圆台中空结构,分为内外两层,外层为石墨材料制作,内层为钼片,两层之间留有空隙,填充石墨碳毡,所述第三导流筒的下底面向外延伸有第三安装边沿;所述第三安装边沿与所述第二卡滞边沿配合。
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