[实用新型]一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置

摘要

本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置。通过使用挡料球作为多晶硅的隔离装置，使用导料管作为注入多晶硅的通过闸板阀或翻板阀的导料装置，使用闸板阀或翻板阀作为隔离直拉硅单晶炉真空的装置，这些装置的尺度远大于块状多晶硅的粒度，使本实用新型的一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置能够向直拉硅单晶炉内加注粒度小于50mm的块状多晶硅和粒度小于5mm的颗粒多晶硅，解决了现有的多晶硅加料仓只能向直拉硅单晶炉内加注粒度小于5mm的颗粒多晶硅，不能加注块状多晶硅的难题。

主权项

一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置,其特征在于：从上到下顺次设有仓盖（18）、仓体（19）、翻板阀体（30），仓盖（18）上方从左到右顺次设有挡料球升降组件、导料管升降组件、加料口（17），挡料球升降组件从上到下顺次设有电机（9）、减速机（10）、固定架（11）、导向滑杆（13）、丝杆（12）、波纹管提升件（14）、波纹管（15）、提升杆（16），电机（9）、减速机（10）、导向滑杆（13）、丝杆（12）安装在固定架（11）上，波纹管提升件（14）通过内螺纹连接在丝杆（12）上并可沿导向滑杆（13）上下滑动，波纹管（15）、提升杆（16）安装在波纹管提升件（14）的下方，导料管升降组件从上到下顺次设有电机（1）、减速机（2）、固定架（6）、导向滑杆（5）、丝杆（4）、波纹管提升件（3）、波纹管（7）、提升杆（8），电机（1）、减速机（2）、导向滑杆（5）、丝杆（4）安装在固定架（6）上，波纹管提升件（3）通过内螺纹连接在丝杆（4）上并可沿导向滑杆（5）上下滑动，波纹管（7）、提升杆（8）安装在波纹管提升件（3）的下方，仓体（19）上部内从外到内顺次设有石英玻璃内套（20）、挡料球（23）、挡料球升降杆（22）、导料管升降杆（21），仓体（19）下部内设有导料管（25），导料管（25）通过导料管挂钩（29）悬挂在导料管升降杆（21）的下端，导料管挂钩（29）由内环（48）、拉杆（49）、固定螺钉（50）、环形托（51）构成，环形托（51）的底部形状为圆环形并与导料管（25）的底部紧密相连，导料管升降杆（21）穿过内环（48）安装，仓体（19）下部外侧壁上设有真空抽气口（28）、真空阀（27）、观测窗（26）、进气口（24），翻板阀体（30）包括密封圈（33）、隔离板（31）、磁流体密封件（52）、摇杆（32），翻板阀体（30）底部设有密封圈（33），翻板阀体（30）的下端设有下法兰（34），翻板阀体（30）外侧壁设有磁流体密封件（52）、摇杆（32），摇杆（32）通过磁流体密封件（52）与隔离板（31）相连。