[实用新型]一种可以实现在三维工件表面高速率沉积类金刚石膜的设备有效
| 申请号： | 201220251057.5 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202558926U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 李灿民;陶满 | 申请（专利权）人： | 合肥永信等离子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生;王伟 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种可以实现在三维工件表面高速率沉积类金刚石膜的设备，该设备包括真空镀膜室、抽气系统、人机控制系统、充气系统、高压电源系统等部分，所述真空镀膜室内设有绝缘支架，其特征在于，还设置有金属罩装置，金属罩装置由位于绝缘支架上的金属板、金属罩组成。将被镀工件置于金属罩内，并将金属罩和高压脉冲电源相连，在金属罩上加载高压负脉冲后，金属罩内部就会产生等离子体，由于电子被束缚在金属罩内与更多的气体粒子发生碰撞，因而可以产生更多的等离子体，从而提高镀膜速率，并能提高涂层的均匀性，而且它可以对三维复杂工件内外表面同时进行镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 实现 三维 工件 表面 速率 沉积 金刚石 设备 | ||
【主权项】：
一种可以实现在三维工件表面高速率沉积类金刚石膜的设备，该设备包括真空镀膜室、抽气系统、人机控制系统、充气系统、高压电源系统，所述真空镀膜室内设有绝缘支架，其特征在于，该设备还设置有金属罩装置，所述金属罩装置由位于绝缘支架上的金属板、设有电子逃逸孔的金属罩组成；所述金属罩和高压脉冲电源相连。
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