[实用新型]一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头有效
| 申请号： | 201220249760.2 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN202649580U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 王友车;项宗齐;刘文海 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230601 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 针对现有直写式光刻机镜头的单倍率固定式镜头在调节倍率时需要设计一整套对应不同倍率的隔圈，并且在使用中还需要反复拆卸安装隔圈的弊端，本实用新型提供一种改进结构的用于直写式光刻机的可调倍率镜头，通过改变固定镜筒（1）与移动镜筒（4）之间的相对位置关系，实现对镜片间距D的线性控制和镜头倍率的精确控制，此外还取消了制造、装配一系列规格隔圈的工艺步骤，节约了制造成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直写式 光刻 可调 倍率 镜头 | ||
【主权项】：
一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，包括固定镜筒（1）、隔圈（2）、第一压圈（3）、第二压圈（5）、第一透镜（12）、第二透镜（13）、第三透镜（14）；其中，固定镜筒（1）径向内侧的中部设有台阶（11）；第一透镜（12）放置在固定镜筒（1）筒腔的底部；在第一透镜（12）顶面放有隔圈（2），在隔圈（2）的顶部放有第二透镜（13）；第一压圈（3）与固定镜筒（1）的台阶（11）的径向侧壁相连接，且第一压圈（3）的底部压在第二透镜（13）的顶面上，将第一透镜（12）、隔圈（2）、第二透镜（13）与固定镜筒（1）固定在一起，其特征在于：固定镜筒（1）顶端的径向内侧设有限位槽（8）；固定镜筒（1）上还设有移动镜筒（4）和刻度盘（6）；移动镜筒（4）为圆筒状，上端设有入光口（9），底部设有出光孔（10）；移动镜筒（4）的顶部端面上设有指针（7）；移动镜筒（4）顶端的径向外侧与固定镜筒（1）顶端的限位槽（8）相连接；刻度盘（6）为圆环状，与固定镜筒（1）顶端的径向外侧相连接。
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