[实用新型]一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒有效
| 申请号： | 201220234297.4 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN202626348U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 方明游;徐增宏 | 申请（专利权）人： | 浙江硅宏电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 324300 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，该清洁套筒分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，在前端套筒的端口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。采用本实用新型，无需将埚转主轴从单晶炉体上拆卸下来，而可以直接对埚转主轴进行清洁，这样达至简便、及时、高效的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉埚转 主轴 清洁 套筒 | ||
【主权项】：
一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，其特征在于在前端套筒的端口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。
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