[实用新型]气体喷淋结构

摘要

一种气体喷淋结构，包括：气体喷淋头、第一气体腔、第二气体腔、冷却隔热板；以及至少一个第一气体流道，自第一气体腔向下贯通至化学气相沉积反应腔室，用于将第一反应气体导入反应腔室，其包括上下对接的第一通道部和第三通道部；至少一个第二气体流道，自第二气体腔向下贯通至反应腔室，与第一气体流道平行并分开设置，用于将第二反应气体导入反应腔室，其包括上下对接的第二通道部和第四通道部；其中，第一通道部和第三通道部对接的接口以及第二通道部和第四通道部对接的接口偏离气体喷淋头和冷却隔热板的贴合面。本实用新型可以避免反应气体在进入反应腔室前混合并发生化学反应，并且结构简单、加工便利。

主权项

一种气体喷淋结构，用于向反应腔室导入反应气体以引起化学气相沉积反应，包括：气体喷淋头(10)、第一气体腔和第二气体腔(102)，其中，所述第一气体腔设置于所述气体喷淋头(10)上方，以及冷却隔热板(20)，贴合于所述气体喷淋头(10)下方，包括冷却液流道(203)，用于向该冷却液流道(203)注入冷却液以抑制所述气体喷淋结构因温差产生的热形变；至少一个第一气体流道(11)，自所述第一气体腔向下贯通至所述反应腔室，用于将来自于所述第一气体腔的第一反应气体导入所述反应腔室，其包括上下对接的第一通道部(111)和第三通道部(112)；至少一个第二气体流道(12)，自所述第二气体腔向下贯通至所述反应腔室，与所述第一气体流道(11)平行并分开设置，用于将来自于所述第二气体腔的第二反应气体导入所述反应腔室，其包括上下对接的第二通道部(121)和第四通道部(122)；其特征在于，所述第一通道部(111)和第三通道部(112)对接的接口以及所述第二通道部(121)和第四通道部(122)对接的接口偏离所述气体喷淋头(10)和冷却隔热板(20)的贴合面(30)。