[实用新型]太阳电池用扩散炉有效
| 申请号： | 201220214365.0 | 申请日： | 2012-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN202601592U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 倪志春;张永红;王继磊;邱凯坤 | 申请（专利权）人： | 中电电气（南京）光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳电池用扩散炉，包括解热炉体，解热炉体内设置石英炉管和尾气管，尾气管设置在解热炉体底部；其特征是：所述尾气管为双层中空石英管或双层真空石英管。在所述尾气管露出解热炉体的部分设置加热保温层。增加该区域温度的同时减小尾气管和石英管的粘结。本实用新型，结构简单，可以有效解决因尾气管扩散反应的生成物凝结沉积导致尾气管堵塞问题。本实用新型用于现有扩散炉，改造方法简单，除对炉管尾气排放连接管进行尺寸更改外，其它部件不需要任何更改。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 扩散 | ||
【主权项】：
一种太阳电池用扩散炉，包括解热炉体，解热炉体内设置石英炉管和尾气管，尾气管设置在解热炉体底部；其特征是：所述尾气管为双层中空石英管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
