[实用新型]硅片收放设备上的硅片暂存装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片收放设备上的硅片暂存装置，包括暂存盒和升降装置，所述暂存盒为一两个相对的侧面贯通的盒体，所述伸缩传动机构贯穿所述暂存盒设置，所述暂存盒的另外两个相对的侧面垂直于所述伸缩传动机构的传送面；所述升降装置与所述暂存盒连接用于在垂直于所述伸缩传动机构的传送方向上升降所述暂存盒。本实用新型可以在承载盒更换或者校正时不必停止整个硅片收放设备，节省了更换或者在承载盒未放好而必须进行校正时所需要的等待时间，提高工作效率。

主权项

一种硅片收放设备上的硅片暂存装置，所述硅片收放设备包括用于传送硅片的伸缩传动机构和位于所述伸缩传动机构的末端用于使放置硅片的承载盒定位的承载盒定位机构，其特征在于，所述硅片暂存装置包括暂存盒和升降装置，所述暂存盒为一两个相对的侧面贯通的盒体，所述伸缩传动机构贯穿所述暂存盒设置，所述暂存盒的另外两个相对的侧面垂直于所述伸缩传动机构的传送面；所述升降装置与所述暂存盒连接用于在垂直于所述伸缩传动机构的传送方向上升降所述暂存盒。