[实用新型]一种硅电力电子器件磨角机

摘要

本实用新型涉及一种硅电力电子器件磨角机，包括机架、吸片头和磨角头，机架上设有真空吸片装置、吸片头旋转驱动装置、磨角头旋转驱动装置和研磨液喷射装置，吸片头和吸片头旋转驱动装置相连，吸片头内设有气流通道，气流通道的一端和真空吸片装置中的真空泵连通，气流通道的另一端开口于吸片头的吸面，磨角头和磨角头旋转驱动装置相连，磨角头设有内凹的球面形磨角面，磨角头的球面形磨角面和吸片头的吸面面对面安装，研磨液喷射装置的研磨液喷嘴指向磨角头的球面形磨角面。本实用新型通过吸片头吸住硅片，采用球面形磨角面对硅片进行磨角，再加研磨液，吸片头和磨角头实行差速同向旋转，有效减少硅片的破碎，提高磨角质量及成品率。

主权项

一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于包括机架（1）、吸片头（2）和磨角头（3），所述的机架（1）上设有真空吸片装置（4）、吸片头旋转驱动装置（5）、磨角头旋转驱动装置（6）和研磨液喷射装置（7），吸片头（2）和吸片头旋转驱动装置（5）相连，吸片头（2）内设有气流通道（8），气流通道（8）的一端和所述的真空吸片装置（4）中的真空泵（9）连通，气流通道（8）的另一端开口于吸片头（2）的吸面，磨角头（3）和磨角头旋转驱动装置（6）相连，所述的磨角头（3）设有内凹的球面形磨角面（10），磨角头（3）的球面形磨角面（10）和吸片头（2）的吸面面对面安装，所述的研磨液喷射装置（7）的研磨液喷嘴（11）指向磨角头（3）的球面形磨角面（10）。