[实用新型]生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置有效
申请号: | 201220179999.7 | 申请日: | 2012-04-26 |
公开(公告)号: | CN202558964U | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 石连升;徐雳 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨晶石光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/18;C30B29/20 |
代理公司: | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人: | 陈晓光 |
地址: | 150010 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置。Al2O3蓝宝石单晶晶棒生长炉水冷电极装置用于生长炉中提供晶体生长所需的热场,电极连接进水管和出水管,上面两个接口为出水口,下面接口为进水口,但是现有电极由于结构复杂不易安装维护,同时形成的热场轴向不够对称,无法满足晶体生长的最佳条件。一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置,其组成包括:由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极,所述的电极(2)焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口(1),所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口(3),所述的出水口连接电极接盖盘(4),所述的进水口连接电极接盖盘。本实用新型用于生长蓝宝石单晶晶棒。 | ||
搜索关键词: | 生长 蓝宝石 单晶晶棒 用电 装置 | ||
【主权项】:
一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置,其组成包括:由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极,其特征是: 所述的电极焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口,所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口,所述的出水口连接电极接盖盘,所述的进水口连接电极接盖盘。
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