[实用新型]一种太阳能电池生产用扩散石英舟装置有效
申请号: | 201220173068.6 | 申请日: | 2012-04-23 |
公开(公告)号: | CN202564194U | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 叶晋;韩凌 | 申请(专利权)人: | 浙江龙柏光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C30B31/00 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 应圣义 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池生产用扩散石英舟装置,包括石英舟体和与其相配套的二个舟叉,所述石英舟体包括二个直立的边架和竖直连接于二个边架之间的若干根底杆和侧杆,所述边架的项端具有一个舟叉孔;所述舟叉包括钢制的手柄和插管,所述插管外包裹有一层石英材质的隔热管;所述舟叉孔的二端具有一个斜面。所述边架的高度为其宽度的1/2-2/3。所述舟叉的手柄与插管之间设有一个隔离块,所述隔离块朝向插管22的面上设有一个缓冲垫。由于在舟叉孔的二端设置了斜面结构,使舟叉更易插入到舟叉孔中;降低了石英舟体的高度,使石英舟具有更好的稳定性;而在舟叉的手柄与插管之间设置隔离块,防止操作人员的手被高温的石英舟烫伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 扩散 石英 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池生产用扩散石英舟装置,包括石英舟体(1)和与其相配套的二个舟叉(2),所述石英舟体(1)包括二个直立的边架(11)和竖直连接于二个边架(11)之间的若干根底杆(12)和侧杆(13),所述边架(11)的项端具有一个舟叉孔(14);所述舟叉(2)包括钢制的手柄(21)和插管(22),所述插管(22)外包裹有一层石英材质的隔热管(23);其特征在于所述舟叉孔(14)的二端具有一个斜面(15)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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