[实用新型]一种干刻机的上电极结构有效
| 申请号： | 201220169321.0 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202663641U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 郑建博 | 申请（专利权）人： | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01J37/305;C23F4/00;C30B33/12;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种干刻机的上电极结构，包括电极板和设置于电极板上的九个线圈；所述九个线圈呈矩阵式排列。本实用新型通过在上电极的电极板上矩阵式的设置9个线圈，使得基板在正常等离子刻蚀中，可实现对腔室等离子的密度进行九个区域控制，有利于控制干刻中出现的刻蚀不均匀；在蚀刻法生产中不仅可以提高改善干刻制程中产生的不均匀问题，并且可以实现基板中心及四角同步刻蚀，提高刻蚀效率；经干刻法生产后，基板就不会由于基板中心及四角等离子密度不同，致使刻蚀速率不一，造成刻蚀不均匀，同时可以提高基板的刻蚀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干刻机 电极 结构 | ||
【主权项】：
一种干刻机的上电极结构，其特征在于，包括电极板(1)和设置于电极板(1)上的九个线圈(2)。
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