[实用新型]太阳能电池扩散用石英舟装置有效
申请号: | 201220135068.7 | 申请日: | 2012-04-01 |
公开(公告)号: | CN202633360U | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 刘志敏;王龙飞;钱小锋 | 申请(专利权)人: | 南京远景新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 210061 江苏省南京市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英舟装置,包括由石英材料制成的载片体、顶杆、底杆以及脚杆,所述载片体有四根,与所述顶杆、底杆和脚杆合围成矩形结构;所述四根载片杆的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽;所述垂直槽由采用5°设计的上槽和下槽组成;所述垂直槽的槽间距为4.41mm;所述垂直槽数量为110个;所述顶杆为中空式的。本实用新型的优点是,这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配,彻底杜绝了硅片混乱,缩短了异常发生和处理时间,为公司减少了不必要利润损失,并且降低了单位硅片的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 扩散 石英 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池扩散用石英舟装置,其特征在于:包括由石英材料制成的载片体(1)、顶杆(2)、底杆(3)以及脚杆(4),所述载片体(1)有四根,与所述顶杆(2)、底杆(3)和脚杆(4)合围成矩形结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的