[实用新型]太阳能电池扩散用石英舟装置有效

专利信息
申请号: 201220135068.7 申请日: 2012-04-01
公开(公告)号: CN202633360U 公开(公告)日: 2012-12-26
发明(设计)人: 刘志敏;王龙飞;钱小锋 申请(专利权)人: 南京远景新能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 210061 江苏省南京市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英舟装置,包括由石英材料制成的载片体、顶杆、底杆以及脚杆,所述载片体有四根,与所述顶杆、底杆和脚杆合围成矩形结构;所述四根载片杆的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽;所述垂直槽由采用5°设计的上槽和下槽组成;所述垂直槽的槽间距为4.41mm;所述垂直槽数量为110个;所述顶杆为中空式的。本实用新型的优点是,这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配,彻底杜绝了硅片混乱,缩短了异常发生和处理时间,为公司减少了不必要利润损失,并且降低了单位硅片的制造成本。
搜索关键词: 太阳能电池 扩散 石英 装置
【主权项】:
一种太阳能电池扩散用石英舟装置,其特征在于:包括由石英材料制成的载片体(1)、顶杆(2)、底杆(3)以及脚杆(4),所述载片体(1)有四根,与所述顶杆(2)、底杆(3)和脚杆(4)合围成矩形结构。
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