[实用新型]太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统有效
| 申请号： | 201220111882.5 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN202855716U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;吴兵 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215555 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统，所述系统为水平传输的链式结构，其特征在于：所述系统包括槽体、第一层盖板和第二层盖板，在槽体刻蚀段入料方向与出料方向各有一个抽风口；所述抽风口连接槽体第一层盖板，该盖板上设有抽风分流口，同时该盖板还设有进新风口；所述第一层盖板与第二层盖板之间设置一层缓冲区；所述缓冲区下方安装第二层盖板，该盖板上密集的开了若干小孔。本实用新型的有益效果是：利用第一层盖板进行抽风压力的第一次分流，经过缓冲区缓冲与均匀化以后，第二层盖板整个刻蚀区抽风十分均匀，解决了原刻蚀机因抽风段抽风不均匀所引起的硅片方块电阻不均匀的飘升现象，保证了电池片出片的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 电池 湿法 刻蚀 双层 抽风 系统 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统，所述系统为水平传输的链式结构，其特征在于：所述系统包括槽体、第一层盖板和第二层盖板，在槽体刻蚀段入料方向与出料方向各有一个抽风口；所述抽风口连接槽体第一层盖板，该盖板上设有抽风分流口，同时该盖板还设有进新风口；所述第一层盖板与第二层盖板之间设置一层缓冲区；所述缓冲区下方安装第二层盖板，该盖板上密集的开了若干小孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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