[实用新型]双功能掩模台底部装置有效
| 申请号： | 201220079643.6 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN202600359U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;朱诚;王保亮;王凯;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双功能掩模台底部装置，包括：水平横梁，其承载一掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 掩模台 底部 装置 | ||
【主权项】：
一种双功能掩模台底部装置，其特征在于，包括：水平横梁，其承载一掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。
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