[实用新型]曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置

摘要

本实用新型公开了一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器和计算机控制中心，所述传感器为高精度激光位移传感器，传感器通过ARM系统与计算机控制中心电连接，所述计算机控制中心通过驱动系统连接驱动传感器内压电晶体微动工作台。采用本非接触测量装置测量抛光物件的表面，不仅能真实反映抛光物件表面的形态，而且其测量精度也非常高，能圆满实现曲面表面在加工过程中的在线、自动、非接触测量。此外，这种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置也适用于各种复杂曲面工件表面的工程粗糙度的二维或三维痕迹测量。

主权项

一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器（1）和计算机控制中心（4），其特征在于：所述传感器（1）为高精度激光位移传感器，传感器（1）通过ARM系统（3）与计算机控制中心（4）电连接，所述计算机控制中心（4）通过驱动系统（2）连接驱动传感器（1）内压电晶体微动工作台。