[发明专利]多垫式化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201210593395.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103909466A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;汪坚俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多垫式化学机械研磨装置，所述多垫式化学机械研磨装置包括研磨平台和研磨垫组，所述研磨垫组固定在所述研磨平台上，所述研磨垫组包括多个嵌合在一起的研磨垫。本发明多垫式化学机械研磨装置采用多个研磨垫结构，研磨垫之间相互嵌合，采用这种结构使得研磨垫能够实现快速更换。进一步的，所述多垫式化学机械研磨装置包括高度调整装置，能够自动调整研磨垫高度，提高了化学机械研磨设备的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多垫式 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种多垫式化学机械研磨装置，其特征在于，包括：研磨平台和研磨垫组；所述研磨垫组固定在所述研磨平台上；所述研磨垫组包括多个嵌合在一起的研磨垫。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210593395.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：手持式工具
- 下一篇：A族链球菌量子点免疫层析检测试剂卡及其制备方法
