[发明专利]一种利用EDAX能谱仪测量轻元素SEC因子数据表的方法

摘要

本发明公开了一种利用EDAX能谱仪测量轻元素SEC因子数据表的方法，本发明的步骤如下：（1）将某标样的已知某轻元素含量作为标准值，对某标样划分不同的测量区域，选定在EDAX能谱仪的不同加速电压，在每种加速电压下重复下述操作：在每一测量区域中，改变所述EDAX能谱仪的定量分析程序中的SEC因子，找出使测得的所述某轻元素含量与标准值相同的SEC因子，将找出的SEC因子取算数平均值，得到所述某轻元素在不同加速电压下的SEC因子数据表；（2）对所述某标样中的其它轻元素重复步骤（1），得到某标样中不同轻元素所对应的SEC因子数据表。本发明的有益效果是提高能谱仪对轻元素定量分析的准确性，为材质鉴别、材料研究、失效分析等工作提供有力的技术支持。

主权项

一种利用EDAX能谱仪测量轻元素SEC因子数据表的方法，其特征在于步骤如下：（1）已知某材料标样中的某种轻元素含量，并设为标准值，选定EDAX能谱仪的加速电压在1‑30kV范围内固定一档电压；（2）采用EDAX能谱仪对所述材料标样的某一区域进行能谱定量成分分析；从所述EDAX能谱仪的定量分析程序中预先设定的SEC因子1.00开始不断改变所述SEC因子，经所述EDAX能谱仪的定量分析程序计算后获得所述某种轻元素对应不同SEC因子时的含量，作为测量值，比较所述某种轻元素含量的测量值与标样的标准值，找出使两者一致的SEC因子；（3）在所述材料标样的其它两个区域重复步骤（2），获得相对应的SEC因子，所述其他两个区域和步骤（2）中选择的某一区域是三者相互不覆盖的任意区域；（4）将得到的三个区域的SEC因子取算数平均值，记录此算数平均值即得到所述材料标样中的某种轻元素在对应加速电压下的SEC因子；（5）在1‑30kV加速电压范围内选取其他测试电压，对已知某材料标样中所述某种轻元素重复上述步骤（2）至步骤（4）；（6）列出在不同加速电压下轻元素的SEC因子数据表：将上述不同加速电压下的SEC因子列表；（7）对所述某种材料标样中的其它轻元素重复上述步骤（1）至步骤（6），即得到所述某种材料中不同轻元素所对应的SEC因子，列出某种材料中不同轻元素所对应的SEC因子数据表。