[发明专利]串行同步控制系统有效
| 申请号： | 201210587448.9 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103901832A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 方欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05D3/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种串行同步控制系统，包括位置测量系统、位置测量机箱、运动控制系统、运动控制机箱及串行同步控制总线，位置测量系统包括同步数据传输总线、位置测量卡、同步总线控制卡及第一数据通信卡，集成安装在位置测量机箱内，运动控制系统包括运动数据传输总线、运动控制卡、运动总线控制卡及第二数据通信卡，安装在运动控制机箱内，位置测量系统通过串行同步控制总线与运动传输系统相连。本发明通过将位置测量系统和运动控制系统分别集成在两个各自独立的机箱内，并利用串行同步控制总线实现物理分离，增加了工件台掩膜台的位置测量轴和运动驱动轴的数量，同时利用串行同步控制总线也实现了位置测量系统和运动控制系统的同步伺服控制。 | ||
| 搜索关键词： | 串行 同步 控制系统 | ||
【主权项】：
一种串行同步控制系统，其特征在于，包括位置测量系统、位置测量机箱、运动控制系统、运动控制机箱以及串行同步控制总线，其中，所述位置测量系统集成安装在所述位置测量机箱内，所述运动控制系统安装在所述运动控制机箱内；所述位置测量系统包括同步数据传输总线、位置测量卡、同步总线控制卡以及第一数据通信卡，其中，所述位置测量卡、同步总线控制卡以及第一数据通信卡之间通过所述同步数据传输总线相连，所述同步总线控制卡与所述串行同步控制总线相连；所述运动控制系统包括运动数据传输总线、运动控制卡、运动总线控制卡以及第二数据通信卡，其中，所述运动控制卡、运动总线控制卡以及第二数据通信卡通过所述运动数据传输总线相连，所述运动总线控制卡与所述串行同步控制总线相连；所述第一数据通信卡通过一高速串行数据传输线与所述第二数据通信卡相连。
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