[发明专利]有机减反射膜组合物有效
| 申请号： | 201210586475.4 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103183974A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李镇翰;裵信孝;洪承姬;韩恩熙 | 申请（专利权）人： | 锦湖石油化学株式会社 |
| 主分类号： | C09D4/00 | 分类号： | C09D4/00;C09D4/02;C09D7/12;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 黄丽娟;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机减反射膜组合物，其包含含两个或更多个硫醇基的单体和含两个或更多个乙烯基的单体作为交联剂。当使用所述有机减反射膜组合物时，在超精细图形形成工艺中，由所述组合物形成的减反射膜可以被快速蚀刻，同时在不使用或仅使用少量产酸剂和固化剂的情况下，可以提高固化速率，同时提高蚀刻速率。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 减反射膜 组合 | ||
【主权项】：
一种有机减反射膜组合物，其包含含两个或更多个硫醇基的第一单体和含两个或更多个乙烯基的第二单体作为交联剂。
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