[发明专利]光致生酸剂和包含所述光致生酸剂的光致抗蚀剂有效
| 申请号： | 201210586171.8 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103186046A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | E·阿恰达;C-B·徐;李明琦;W·威廉姆斯 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/09;C07D493/18;C07D333/46;C07D335/02;C07C381/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
一种光致生酸剂，包括式(I)所示的化合物： |
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| 搜索关键词： | 光致生酸剂 包含 述光致生酸剂 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种式(I)的光致生酸剂：![]()
其中式(I)中各Ra独立地是H、F、C1-10非氟化有机基团、C1-10氟化有机基团，或包括至少一种上述基团的组合，前提是至少一个Ra是F或C1-10氟化有机基团，所述C1-10氟化和非氟化有机基团各自任选地包含O,S,N或包括至少一种上述杂原子的组合；L1是连接基团，所述连接基团包含杂原子，所述杂原子包括O,S,N,F的，或者所述连接基团包括至少一种上述杂原子的组合；G+是式(II)的鎓盐：![]()
其中，在式(II)中，X是S或I，各R0独立地是C1-30烷基，多环或单环C3-30环烷基，多环或单环C4-30芳基，或包括至少一种上述基团的组合，前提是当各个R0是C6单环芳基时至少一个R0是被取代的，当X是I时，x是2，当X是S时，x是3，以及p是0或1，q是1-10的整数。
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