[发明专利]薄膜沉积设备及使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备和使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法。该薄膜沉积设备包括室，被构造成具有安装在所述室中的基底；喷射单元，被构造成在室中移动且向基底喷射沉积蒸汽；以及源供应单元，被构造成向喷射单元供应沉积蒸汽的源。

主权项

一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备包括：室，被构造成具有安装在所述室中的基底；喷射单元，被构造成在室中移动且向基底喷射沉积蒸汽；以及源供应单元，被构造成向喷射单元供应包括液态单体和惰性气体的沉积蒸汽的源并且包括被构造成储存并供应液态单体的单体供应单元以及被构造成储存并供应惰性气体的载气供应单元，惰性气体作为单体的载气与单体混合，其中，单体供应单元包括多个注射泵和单体储存器，多个注射泵被构造成向喷射单元交替地供应单体，单体储存器可拆卸地连接到注射泵并被构造成储存单体，其中，喷射单元包括：面对基底的喷射部，其中，加热器被构造成汽化喷射部处的所述源；第一供应线，用于连接单体供应单元和喷射部；第二供应线，用于连接载气供应单元和喷射部；压力传感器，被构造成测量与单体对应的压力并位于第一供应线处；第三供应线，将第一供应线和第二供应线连接，第三供应线被构造成当压力传感器测得低于正常范围的压力时使得载气进入第一供应线；第一流速控制器，在第一供应线处，用于控制向喷射部供应的单体的量；以及第二流速控制器，在第二供应线处，用于控制向喷射部供应的载气的量。