[发明专利]一种碳纳米管的制备方法无效
申请号: | 201210581092.8 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN103043648A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 李岗;国欣鑫;张晓辉 | 申请(专利权)人: | 青岛艾德森能源科技有限公司 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种碳纳米管的制备方法,其包括如下步骤:(a)、对玻璃基板使用去离子水进行清洗、烘干处理;(b)、然后在(a)步骤中处理过的玻璃基板上溅射铁、钴、镍及其合金薄膜作为催化剂;(c)、然后在(b)步骤中得到的薄膜上接着溅射一层稀土金属的氟化物薄膜;(d)、然后在催化剂薄膜上常规技术生长碳纳米管,生长温度为450-600℃。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种碳纳米管的制备方法,其包括如下步骤:(a)、对玻璃基板使用去离子水进行清洗、烘干处理;(b)、然后在(a)步骤中处理过的玻璃基板上溅射铁、钴、镍及其合金薄膜作为催化剂;(c)、然后在(b)步骤中得到的薄膜上接着溅射一层稀土金属的氟化物薄膜;(d)、然后在催化剂薄膜上常规技术生长碳纳米管,生长温度为450‑600℃。
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