[发明专利]方形柱面实芯微通道板制备方法及方形柱面实芯微通道板无效

专利信息
申请号: 201210579215.4 申请日: 2012-12-27
公开(公告)号: CN103065905A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 尼启良 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01J9/00 分类号: H01J9/00;H01J43/04
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 刘树清
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 方形柱面实芯微通道板制备方法及方形柱面实芯微通道板,属于X射线、紫外线、带电粒子的探测技术领域中涉及的方形柱面微通道板的制备方法及其微通道板。要解决的技术问题是提供一种方形柱面实芯微通道板制备方法及方形柱面实芯微通道板。解决的技术方案包括步骤1:建立方形柱面实芯微通道板的制备装置;步骤2:制备方形柱面实芯微通道板;按步骤1和步骤2方法制备出的方形柱面实芯微通道板,由中部为方形柱面实芯微通道板和两端为平面实芯微通道板组成,方形柱面实芯微通道板和两端的平面的实芯微通道板为一体件;该微通道板中部的方形柱面实芯微通道板的矢高和曲率半径与带有方形上定位边缘的方形柱面胎具的柱面表面的矢高和曲率半径相同。
搜索关键词: 方形 柱面 实芯微 通道 制备 方法
【主权项】:
方形柱面实芯微通道板制备方法,其特征在于包括两个步骤,步骤1:建立方形柱面实芯微通道板的制备装置,包括真空加热炉(1)、方形支撑架(2)、方形平面实芯微通道板(3)、带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)、下端带有方形凹台肩的方形压环(5)、真空加热炉腔体(6);方形支撑架(2)置于真空加热炉腔体(6)的底部中心位置,将方形平面实芯微通道板(3)置于方形支撑架(2)顶部,方形平面实芯微通道板(3)的宽度小于方形支撑架(2)内壁的宽度,下端带有方形凹台肩的方形压环(5)置于方形平面实芯微通道板(3)的上部,使下端带有方形凹台肩的方形压环(5)的方形凹台肩压住方形平面实芯微通道板(3)的上表面边缘,将方形平面实芯微通道板(3)固定,带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)置于下端带有方形凹台肩的方形压环(5)内,方形柱面胎具的侧壁与下端带有方形凹台肩的方形压环(5)的内壁之间留有间隙,使带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的下端柱面落在方形平面实芯微通道板(3)的上表面,带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的上定位边缘与下端带有方形凹台肩的方形压环(5)的上表面之间留具有一定的距离,这个距离正好等于带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的柱面表面的矢高;步骤2:制备方形柱面实芯微通道板,即利用步骤1所建立的方形柱面实芯微通道制备装置制备方形柱面实芯微通道板;将装有方形平面实芯微通道板(3)的胎具固定在真空加热炉(1)内,将真空加热炉腔体(6)抽成真空度达到好于3×10‑5Pa状态后,启动真空加热炉(1),以约5°C/min的速率升温,当炉内温度上升到方形平面实芯微通道板(3)的软化温度时, 保温20‑30分钟,在此过程中方形平面实芯微通道板(3)在带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的重力作用下逐渐向下突起而成型的两端为平面、中部为柱面的方形实芯微通道板,当带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的上定位边缘与下端带有方形凹台肩的方形压环(5)的上表面接触后,该微通道板柱面的矢高和曲率半径与带有方形上定位边缘的方形柱面胎具(4)的柱面表面的矢高和曲率半径相同;最后,关闭真空加热炉(1),冷却后将制成的方形柱面实芯微通道板取出。
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