[发明专利]一种金属材料小尖端曲率半径纳米针尖的制备方法无效
| 申请号： | 201210575413.3 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103011071A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 万能;徐涛;梅森;艾博;孙俊;孙立涛 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明了公开一种金属材料小尖端曲率半径纳米针尖的制备方法，包括以下步骤：使用阳极电化学腐蚀的方法制备模板针尖，所述模板针尖为小尖端曲率半径针尖；将模板针尖用去离子水清洗去除模板针尖表面的残留腐蚀液，晾干；将模板针尖固定在薄膜制备设备的衬底一侧，使模板针尖的尖端的朝向与蒸发源或溅射源的扩散方向相对；启动薄膜制备设备在模板针尖的表面进行金属材料的淀积，在模板针尖的表面得到一层金属层；金属材料淀积结束，得到制备好的金属针尖。利用本发明的制备方法得到的针尖的质量好，纯度较高，成本低，适合于大批量制备，而且所需要的设备简单，成本低廉，操作方便，重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属材料 尖端 曲率 半径 纳米 针尖 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属材料小尖端曲率半径纳米针尖的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）、使用阳极电化学腐蚀的方法制备模板针尖，所述模板针尖为小尖端曲率半径针尖；2）、将步骤1）的模板针尖用去离子水清洗去除模板针尖表面的残留腐蚀液，晾干；3）、将步骤2）得到的模板针尖固定在薄膜制备设备的衬底一侧，使模板针尖的尖端的朝向与蒸发源或溅射源的扩散方向相对；4）、启动薄膜制备设备在模板针尖的表面进行金属材料的淀积，在模板针尖的表面得到一层金属层；5）、金属材料淀积结束，得到制备好的金属针尖。
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