[发明专利]一种氢气纯化材料在审
| 申请号： | 201210575134.7 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103898389A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李志念;袁宝龙;叶建华;郭秀梅;李帅;王树茂;刘晓鹏;蒋利军 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C22C30/00 | 分类号： | C22C30/00;C01B3/56 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种氢气纯化材料，由钛、锰、锆和过渡族金属元素（钴、铬、镍、铌元素以及钒铁合金中的一种或其两种或两种以上金属形成的化合物）组成。采用真空感应熔炼制备，制造工艺简单。该纯化材料在于可在200-250℃下对氢气进行纯化，比Zr-Mn-Fe合金工作温度低200℃以上，且一次纯化可将氢气中的氮气、氧气等杂质气体的含量由几百ppm降低至100ppb以下，适用于电子工业的化学气相沉积，大规模半导体集成电路生产，非晶硅薄膜太阳能电池技术，高纯气相色谱技术等诸多需要超纯氢气的领域和场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 纯化 材料 | ||
【主权项】：
一种氢气纯化材料，其特征在于，该氢气纯化材料为合金材料，该合金成分和含量为：Ti=17～45mol%，Mn=35～40mol%，Zr=12～16mol%，M=8～27mol%，其中，M为Co、Cr、Ni、Nb元素以及VFe合金中的一种或其两种或两种以上金属形成的化合物，该合金中的各合金总含量为100mol%。
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