[发明专利]测量装置以及测量方法有效
| 申请号： | 201210568682.7 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103884424A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 卓嘉弘;庄凯评;刘志祥;谢易辰;周森益;蔡伟雄 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量装置以及测量方法。测量装置包括一导电探针卡、一光学接收模块、一分光模块以及一数据处理模块。导电探针卡是放置于该晶片的至少一发光装置之上，以驱动该至少一发光装置，使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡；光学接收模块，用以接收穿过该导电探针卡的该入射光；分光模块将入射光转换为光谱信号；以及数据处理模块依据光谱信号计算出一光学参数。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
一种测量装置，其特征在于，用以测量一晶片上的多个发光装置，包括：一导电探针卡，放置于该晶片的至少一发光装置之上，以驱动该至少一发光装置，使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡；一光学接收模块，用以接收穿过该导电探针卡的该入射光；一分光模块，将该入射光转换为一光谱信号；以及一数据处理模块，依据该光谱信号计算出一光学参数。
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