[发明专利]一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统有效
| 申请号： | 201210566058.3 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103048358A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 汤庆鑫;童艳红;蔡彬;塔利哈尔;裴腾飞 | 申请（专利权）人： | 东北师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 长春市东师专利事务所 22202 | 代理人： | 刘延军;赵军 |
| 地址： | 130024 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及气敏传感器测试技术领域，具体涉及一种用于半导体微纳单晶的简单稳定可靠的测试系统。主要由IC电路板、排针、测试芯片底座、测试芯片转换座、测试腔体、与测试腔体配套的盲板和紧固件、固定支架、和外界信号输出端口，进气系统、气体流量监控及组分调控单元、尾气回收系统以及半导体电学测试系统组成。利用本发明，提供了一种对半导体微纳单晶元件进行气敏测试的方法，结构简单、方便实用、工作效率高能够满足低气压气敏测试需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 微纳单晶气敏 传感器 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统，其特征是结构如下：将制备好的SnO2单晶纳米带场效应晶体管固定在芯片底座（3）上，单晶纳米带场效应晶体管的各个电极与芯片底座（3）上的电极相连；在IC电路板（1）上焊接测试芯片转换座（4）和排针（2），使测试芯片转换座(4)的各个针孔和排针(2)一一对应并且导通；IC电路板(1)固定在固定支架(7)上；外接信号输出端口(8)和排针(2)相连，外接信号输出端口(8)和固定支架(7)固定在盲板(6)上,将以上完成连接的组件密封固定在测试腔体(5)中；将测试腔体(5)分别与进气系统（10）气体流量监控及组分调控单元（11）尾气回收系统（12）以及通过外接信号输出端口(8)与半导体电学测试系统（9）相连接。
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