[发明专利]多晶硅在审
| 申请号： | 201210563223.X | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103172069A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·鲍曼;罗伯特·赫尔茨尔;米夏埃尔·魏克塞尔加特纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了多晶硅，所述多晶硅具有以下掺杂剂浓度：1-10ppta的硼、1-20ppta的磷、1-10ppta的砷、0.01-1ppta的铝，并且具有至少2000且至多4500μs的载流子寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 | ||
【主权项】：
多晶硅，具有以下掺杂剂浓度：1‑10ppta的硼，1‑20ppta的磷，1‑10ppta的砷，和0.01‑1ppta的铝，并且具有至少2000μs且至多4500μs的载流子寿命。
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