[发明专利]微陀螺仪以及微陀螺仪的操作方法

摘要

本发明涉及一种用于确定绕Z轴线转速的微陀螺仪，具有基底和第一和第二传感器装置，每个传感器装置包括至少一个平行于基底的驱动模块；至少一个锚固件，驱动模块借助于其与基底相连；至少一个锚固件与驱动模块之间的锚固弹簧，驱动模块借助于其沿X轴线方向能够线性移位地且沿Y轴线和Z轴线方向不动地安装；驱动元件，驱动模块借助于其能够沿X轴线方向振荡驱动；至少一个传感器模块，传感器模块借助于弹簧连至驱动模块，以使传感器模块沿Y方向能够移位地且沿X方向和Z方向不动地连至驱动模块；以及用于检测传感器模块Y轴线方向偏转的传感元件。两个传感器装置彼此平行且在Z轴线方向彼此上下安置，第一和第二驱动模块借助于连接弹簧相连。

主权项

一种用于确定绕Z轴线转速的微陀螺仪，所述微陀螺仪包括基底，以及第一和第二传感器装置(1、2)，其中每个传感器装置(1、2)包括：至少一个平行于所述基底安置的驱动模块(1.2、2.2)，至少一个锚固件(40)，所述驱动模块(1.2、2.2)借助于所述锚固件与所述基底相连，至少一个在所述锚固件(40)与所述驱动模块(1.2、2.2)之间安置的锚固弹簧(1.3、2.3)，所述驱动模块(1.2、2.2)借助于所述锚固弹簧沿X轴线方向能够直线移位地并且沿Y轴线和Z轴线方向不动地安装，驱动元件，所述驱动模块(1.2、2.2)借助于所述驱动元件能够沿X轴线方向以振荡的方式被驱动，至少一个传感器模块(1.5、2.5)，所述传感器模块借助于弹簧(1.6、2.6)与所述驱动模块(1.2、2.2)相连，以使得所述传感器模块沿Y方向能够移位地并且沿X方向和Z方向不动地连接至所述驱动模块(1.2、2.2)，以及用于检测所述传感器模块(1.5、2.5)沿Y轴线方向偏转的传感器元件，其特征在于，所述两个传感器装置(1、2)彼此平行地且沿Z轴线方向彼此上下地安置，并且第一和第二驱动模块(1.2、2.2)借助于连接弹簧(1.9、2.9)彼此相连。