[发明专利]一种晶片专用三夹头夹具

摘要

本发明公开了一种晶片专用三夹头夹具，通过夹臂减小三夹头之间的间距，三夹头仅与样品侧边缘接触而不直接接触晶面即可完成夹持操作。本发明包含有夹臂、三个夹头，夹臂末端设有夹头，其中一个夹臂上安装1或2个夹头，夹具设有3条或2条夹臂，各夹臂间相互连接，夹臂间相互连接处在夹臂中部或夹臂首端。本发明通过夹头与夹臂的巧妙组合，避免夹头与晶片正面的直接接触，从而减少晶面的接触源并避免了夹头直接施力于晶面易导致晶面被划伤、污染等问题。

主权项

一种晶片专用三夹头夹具，包含有：夹臂、三个夹头，其特征在于，所述夹臂末端设有夹头，所述夹头形状为扁平状、倒三角状、尖峰状、鸭嘴状，其中一个夹臂上安装1或2个夹头，所述夹具设有3条或2条夹臂，各夹臂间相互连接，所述夹臂间相互连接处在夹臂中部或夹臂首端，其夹臂间相互连接方式为一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹，所述夹臂的形状为扁平柱、柱形、锥形、条形，所述夹头与夹臂末端的安装方式为一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹。