[发明专利]一种电容式风速风向传感器无效
| 申请号： | 201210559096.6 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103063867A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 秦明;陈实;胡世镔 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式风速风向传感器，其包括衬底（1）、设置在衬底（1）表面的绝缘体（2）、分别设在绝缘体（2）表面且相距一定距离的第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）、与绝缘体（2）相连的支撑锚区（5）、与支撑锚区（5）相连的弹性膜（6）、与弹性膜（6）相连的刚性薄板（7），和设置在刚性薄板（7）上的风杆（8），风杆（8）位于刚性薄板（7）中心，第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）相对刚性薄板（7）中心对称放置，且第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）构成差分电容对。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 风速 风向 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式风速风向传感器，其特征在于，其包括衬底（1）、设置在衬底（1）表面的绝缘体（2）、分别设在绝缘体（2）表面且相距一定距离的的第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）、与绝缘体（2）相连的支撑锚区（5）、与支撑锚区（5）相连的弹性膜（6）、与弹性膜（6）相连的刚性薄板（7），和设置在刚性薄板（7）上的风杆（8），风杆（8）位于刚性薄板（7）中心，第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）相对刚性薄板（7）中心对称放置，且第一电容底电极（3）和第二电容底电极（4）构成差分电容对。
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