[发明专利]一种光刻胶清洗剂组合物无效
| 申请号： | 201210554061.3 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102981379A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张立刚;曲健;张磊;武刚 | 申请（专利权）人： | 青岛华电高压电气有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 钟廷良 |
| 地址： | 266101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种光刻胶清洗剂组合物，由以下重量份的组分组成，季铵氢氧化物5-15份、烷基二醇芳基醚10-15份、二甲基亚砜11-15份、六缩异丙二醇单苯基醚5-16份、烷基二醇芳基醚4-13份、柠檬酸三己酯2-8份、铬酸酐3-5份、氧化铜2-6份、氧化钛1-5份、硅酸油3-7份、三氯三氟乙烷4-9份、甲醇10-20份、水20-25份。本发明中的光刻胶清洗剂组合物对高交联度的负性光刻胶具有清洗能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 洗剂 组合 | ||
【主权项】：
一种光刻胶清洗剂组合物，其特征在于：由以下重量份的组分组成，季铵氢氧化物5‑15份、烷基二醇芳基醚10‑15份、二甲基亚砜11‑15份、六缩异丙二醇单苯基醚5‑16份、烷基二醇芳基醚4‑13份、柠檬酸三己酯2‑8份、铬酸酐3‑5份、氧化铜2‑6份、氧化钛1‑5份、硅酸油3‑7份、三氯三氟乙烷4‑9份、甲醇10‑20份、水20‑25份。
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