[发明专利]一种蝇眼透镜

摘要

本发明实施例提供了一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，它包括第一透镜组和第二透镜组，第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，第一透镜面，用于将光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到第二透镜面上；第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到光学系统中的凹面镜上，离第二透镜面的中心点越近的透镜，其对应的透过率越高；离第二透镜面的中心点越远的透镜，其对应的透过率越低。在本发明实施例中，由于蝇眼透镜中第二透镜面上不同透镜的透过率不同，使得经蝇眼透镜照射到掩膜板不同区域上的光照度不同，可以在一定程度上提高曝光出的图形尺寸的均一度。

主权项

一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，所述蝇眼透镜包括第一透镜组和第二透镜组，所述第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，所述第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，所述第一透镜面，用于将所述光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到所述第二透镜面上；所述第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到所述光学系统中的凹面镜上，其特征在于，离所述第二透镜面的中心点越近的透镜，其对应的透过率越高；离所述第二透镜面的中心点越远的透镜，其对应的透过率越低。