[发明专利]径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置

摘要

径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域；该共焦成像装置激光器发出的激光束依次经过准直扩束器，起偏器，径向偏振光转换器，分光镜后，由大数值孔径物镜会聚到椭球反射镜表面，再经过椭球反射镜和样品的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜时被反射，反射光束先经耦合透镜会聚，再经光纤传输到光电倍增管上成像；所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合，椭球反射镜的近焦点F2位于样品的表面上；所述的椭球反射镜为环带结构，相隔的两个环带反射率相同，相邻的两个环带反射率分别为0和1；使用本发明，可以提高横向分辨率以及提高焦点处轴向电场能流密度最大值和径向电场能流密度最大值之比。

主权项

径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，包括激光器（1），准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5），大数值孔径物镜（6），椭球反射镜（7），样品（8），三维载物台（9），耦合透镜（10），光纤（11），光电倍增管（12）；激光器（1）发出的激光束依次经过准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5）后，由大数值孔径物镜（6）会聚到椭球反射镜（7）表面，再经过椭球反射镜（7）和样品（8）的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜（5）时被反射，反射光束先经耦合透镜（10）会聚，再经光纤（11）传输到光电倍增管（12）上成像；其中，样品（8）固定放置在三维载物台（9）上；大数值孔径物镜（6）的焦点和椭球反射镜（7）的远焦点F1重合，椭球反射镜（7）的近焦点F2位于样品（8）的表面上；其特征在于所述的椭球反射镜（7）为环带结构，相隔的两个环带反射率相同，相邻的两个环带反射率分别为0和1。