[发明专利]一种基于声光偏转器的多路扫描与探测方法及装置有效
| 申请号： | 201210541416.5 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103033514A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 曾绍群;吕晓华;骆清铭;周镇乔 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G02B26/10;G02F1/33 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 周发军 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种基于声光偏转器的多路扫描与探测方法及装置。本发明采用多个声光偏转器对多个激光束进行相互独立的并行扫描，各个声光偏转器或声光偏转器对能独立控制相应的激光束进行快速逐点扫描或随机扫描，并采用多通道探测器或阵列探测器进行探测。大大提高了基于声光偏转器的逐点扫描和随机扫描的速度和通量。在显微成像、激光显示与记录系统、激光打印、激光加工等领域有推广应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 声光 偏转 扫描 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于声光偏转器的多路激光扫描与探测方法，其特征在于，包括以下步骤：多个激光束分别进入多个声光偏转器或相互垂直放置的声光偏转器对后，通过扫描透镜对待测样本进行独立并行扫描，多通道探测器或阵列探测器进行并行探测；探测信号通过信号采集模块发送到工作站进行采集分析。
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