[发明专利]一种微纳集成发电机及其制备方法有效
| 申请号： | 201210530458.9 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103023371A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;张晓升;韩梦迪;朱福运 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H02N1/04 | 分类号： | H02N1/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微纳集成发电机及制备方法，结构包括导电层、PET层、PDMS层、微纳复合PDMS阵列和金属膜层，导电层制作于PET层表面；PET层为聚对苯二甲酸乙二醇酯；PDMS层为聚二甲基硅氧烷；微纳复合PDMS阵列制作于PDMS层表面。方法包括1）通过结合光刻和化学腐蚀或物理刻蚀，在基片上制作微米尺度结构；2）利用无掩膜优化深反应离子刻蚀工艺，在微米尺度结构表面上制作高密度高深宽比纳米尺度结构；3）利用PDMS铸膜转印工艺，调控工艺参数，以微纳复合阵列结构模具为模板；4）利用蒸发或溅射或化学气相沉积工艺，在PET层表面制作导电层；5）通过高温键合或常温物理施压，将PDMS层与PET层键合；6）将5）键合结构，金属膜层，5）键合结构，按依次顺序组装并封装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 发电机 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳集成发电机，其特征在于,该结构包括：导电层、PET层、PDMS层、微纳复合PDMS阵列和金属膜层，所述导电层制作于PET层表面，为导电性好的金属或半导体材料；所述PET层为聚对苯二甲酸乙二醇酯（polyethylene terephthalate）；所述PDMS层为聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane）；所述微纳复合PDMS阵列制作于PDMS层表面，由微米阵列结构和纳米尺度结构构成；所述金属膜层为具有强得电子能力的金属，将PET层与PDMS层键合结构，金属膜层，另一PET层与PDMS层键合结构，按依次顺序组装并封装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210530458.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：视频通信业务与DLNA业务融合的装置及方法
- 下一篇：振子单元
