[发明专利]一种用于氧传感器的TiO2 敏感层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201210521345.2 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103018309A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王海容;孙全涛;张欢;陈磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/409 | 分类号： | G01N27/409 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法，TiO2敏感层结构通过网状处理，可抑制裂纹产生和裂纹的传播，有效的减少了热应力产生的裂纹，表面与体积比的提高，有利于氧气的吸附从而增加了TiO2敏感层敏感性和减少响应时间。本发明TiO2敏感层制备方法是在有加热丝的硅基片上进行，首先在加热丝上制备出绝缘层，在绝缘层上制备叉指电极，然后在叉指电极上制备TiO2薄膜，用反应离子刻蚀把TiO2薄膜做出网状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 传感器 tio sub 敏感 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构，包括设置在绝缘层上表面的Pt叉指状电极层和其上的TiO2敏感层，Pt叉指状电极层下面设有Ti粘结层，形状和Pt叉指状电极相吻合，其中，绝缘层为上、下两层，上、下绝缘层之间有加热层，其特征在于，所述TiO2敏感层为掺杂有Pt的TiO2层，其平面几何特征为多孔网状结构。
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