[发明专利]双低温泵系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201210510059.6 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102953958A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 张伟 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B49/06 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双低温泵系统，应用于晶圆生产中，包括工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管；以及控制单元，与第一隔离阀和第二隔离阀相连，判断第一低温泵是否满足维护条件，并在第一低温泵满足维护条件时关闭第一隔离阀同时打开第二隔离阀，其中维护条件为第一低温泵故障或第一低温泵的工作参数达到预设值。本发明通过交替使用低温泵，不但使得工艺腔避免了在低温泵维护时的停机，保证生产线的正常运转，也降低了能耗，并延长了低温泵的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种双低温泵系统，其特征在于，包括：工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管，所述第一隔离阀与所述第一低温泵相连，所述第一抽气管连接于所述第一隔离阀与所述工艺腔之间；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管，所述第二隔离阀与所述第二低温泵相连，所述第二抽气管连接于所述第二隔离阀与所述工艺腔之间；以及控制单元，与所述第一隔离阀和第二隔离阀相连，所述控制单元判断所述第一低温泵是否满足维护条件，并在其维护条件时关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。
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