[发明专利]无光窗式真空紫外灯质谱电离源

摘要

一种无光窗式真空紫外灯质谱电离源，包括无窗真空紫外灯，两级差分稳压腔，紫外光入射通道，及产生均匀电场的电极片组，样品进样口及离子引出电极板。一级差分腔和二级差分腔内的气压分别用两挡板阀控制，并用真空规测量各自气压值。工作时，使一级差分腔的气压维持高于二级差分腔的状态，以防止二级差分腔内的样品气体进入一级差分腔造成放电气体不纯的问题，有利于保证真空紫外灯的稳定工作。真空紫外灯发出的紫外光通过入射通道，对二级差分腔内的样品气体进行电离。

主权项

一种无光窗式真空紫外灯质谱电离源，其特征在于：包括一无光窗式真空紫外灯（1），密闭的一级差分腔（7），密闭的二级差分腔（8）；无光窗式真空紫外灯（1）安装固定于一级差分腔（7）外壁上，其出光口（12）伸入一级差分腔（7）内部；一级差分腔（7）与二级差分腔（8）的一侧壁面相贴接。于一级差分腔（7）与二级差分腔（8）的相贴接的壁面上分别开设有对应的通孔；一圆筒形差分口（11）置于一级差分腔（7）与二级差分腔（8）的通孔内，一级差分腔（7）与二级差分腔（8）通过圆筒形差分口（11）相连通；无光窗式真空紫外灯（1）发出的真空紫外光穿过圆筒形差分口（11）的中心通孔进入到二级差分腔中；于一级差分腔（7）与二级差分腔（8）上分别设有一气体出口；在二级差分腔（8）的内部、圆筒形差分口（11）的下方、沿真空紫外光（12）出射方向依次设置有离子推斥电极（14）、离子传输电极（10）和离子引出电极（9），于离子推斥电极（14）、离子传输电极（10）和离子引出电极（9）之间分别设置有绝缘密封环（13）阻隔；离子推斥电极（14）、离子传输电极（10）、离子引出电极（9）及绝缘密封环（13）相互间隔、平行；圆筒形差分口（11）、离子推斥电极（14）、离子传输电极（10）、离子引出电极（9）均沿无光窗式真空紫外灯（1）的光轴同轴设置；一进样毛细管（6）穿过二级差分腔（8）的外壁伸入进二级差分腔（8）的内部，进样毛细管（6）的气体出口设置于离子推斥电极（14）和离子传输电极（10）之间相互间隔的区域；于远离离子传输电极（10）的离子引出电极（9）一侧的二级差分腔（8）壁面上开设有通孔，于二级差分腔（8）壁面外、靠近通孔处设置有一质量分析器（22）。